流量測(ce)量技術之 微小流量(liang) 的測量(liàng)     
半導體(tǐ)制造業、生物(wù)工程、精細化(huà)工等的興起(qi)，使流量測量(liàng)🔅向低端延伸(shen)，小流量計流(liu)量的要求在(zai)上世紀 80 ∽ 90 年代凸(tū)顯起來。何謂(wèi)小流量 ? 業界尚無*的(de)定義和界限(xiàn)，小流量因應(yīng)用領域而異(yì)是👈一個模糊(hu)🌈的概念。管道(dao)小流量測量(liàng)體現于管徑(jìng)小和流速低(di)兩個層次，就(jiù)流程工業而(er)言，習慣上 DN10 甚至 DN15 以下管徑流(liu)量測量稱之(zhī)小流量測量(liang)，通常其流量(liàng)值🏃🏻液體爲 1L/min 或 0.06m3/h 以(yǐ)下，流量儀表(biǎo)滿度流量時(shi)的流速低于(yú) 0.1m/s 。
1 、測(ce)量方法
傳統小流量(liang)測量技術節(jiē)流差壓 ( 層流 ) 法(fǎ)、浮子法和容(rong)積法等有了(le)的改進，新測(cè)量技術如超(chāo)聲法、熱❗法🌍、科(kē)裏奧利法等(děng)也有成效地(di)應于液體🈲和(hé)氣😄體小流量(liang)測量。
2 、特(te)點
微小(xiǎo)流量與一般(ban)流量測量相(xiàng)比較，具有以(yi)下特點。
1) 雷諾數低
一般管道(dào)流動均爲紊(wen)流流動，流量(liang)儀表也是針(zhen)對紊流流動(dòng)态設計的，而(er)小流量儀表(biǎo)因管徑小常(cháng)處于層流流(liu)❓動 ( 例如(ru)管内徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或(huò)層流 / 紊(wen)流過渡區流(liú)态流動，小流(liú)量測量受使(shǐ)用中流體黏(nián)度變化影㊙️響(xiang)頗大。
2) 要(yào)用實際使用(yong)流體校準
液體流量(liàng)儀表一般用(yòng)水校準，氣體(tǐ)用空氣校準(zhun)。若知道實際(jì)㊙️測📧量流體與(yu)校準流體間(jian)某些物性不(bú)同對示值有(you)🛀🏻規律變化時(shi)，中㊙️大管徑流(liu)量儀表常以(yi)适當系數修(xiu)正。但有些小(xiao)流量儀表受(shou)黏度等流體(tǐ)物✍️性影響大(dà)，須以實際使(shǐ)用流體🈲校準(zhǔn)。所幸流量小(xiǎo)，用🚶實際使用(yòng)流體校準難(nán)度不大，但在(zài)作有害性流(liú)體校準時應(yīng)注意安全和(he)環境污🐉染。
3) 要求測量(liang)時防止污染(ran)流體
若(ruò)測量潔淨氣(qi)體和純水常(chang)不允許接觸(chù)流體的儀表(biǎo)零件材料🔴析(xī)出離子，例如(ru)半導體制備(bèi)中儀表不👈能(néng)用金屬和玻(bo)璃制成，隻能(neng)用塑料。流體(ti)中也不允許(xu)混入活動件(jian)的磨蝕塵粒(lì)。流🔅量儀表流(liú)通通道要盡(jin)可能簡單，不(bú)應有潴留 ( 指液體在(zai)體内不正常(chang)地聚集停留(liú) ) 部位，防(fang)止潴留介質(zhì)變質。
4) 氣(qì)泡和塵埃附(fu)着的影響
因管徑小(xiǎo)黏性增加，液(yè)體中微細氣(qi)泡易在管系(xì)流動過程中(zhong)積聚變大，使(shi)測量時指示(shì)不穩，度下降(jiang)。流體中👈塵埃(āi)附着測量元(yuán)件也要影響(xiǎng)測量值，例如(ru)浮子流量計(jì)的浮子上沉(chen)積有肉眼覺(jiao)察不出的附(fù)着層也會影(yǐng)響示值。
5) 流量儀表品(pin)種使用上受(shou)到一定限制(zhì)
在衆多(duō)測量原理流(liu)量儀表中，因(yin)各種原因小(xiǎo)流量應用受(shou)♋到一些限制(zhì)，當前能應用(yong)于小流量的(de)品種如表格(gé)所示