fs4001小流量(liàng)氣體質量(liang)流量傳感(gan)器

産品時(shí)間：2025-12-01

簡要描(miao)述：

siargo ltd fs4001小流量(liang)氣體質量(liàng)流量傳感(gan)器是專門(men)爲各類小(xiao)流量氣體(ti)🌏的測🧑🏽‍🤝‍🧑🏻量和(he)過程控制(zhi)而設計的(de)。這一系列(lie)傳感器均(jun1)采用本🛀公(gōng)司自主研(yan)發的微機(ji)電系統（MEMS）流(liu)量傳感芯(xin)片來制🚩作(zuo)，适用于各(ge)類清潔氣(qi)體。*的封裝(zhuāng)技術使之(zhi)可用于各(gè)類管徑，成(cheng)本低、易安(an)裝🔴、不需要(yao)溫度壓力(li)補償，可替(tì)代容積式(shi)或壓差式(shi)的傳統流(liú)量傳感器(qì)。

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微型(xing)小流量氣(qi)體流量計(ji),廣州氣體(tǐ)流量計, 深圳轉(zhuan)子流量計(jì), 廣東(dōng) 實驗室氣(qi)體流量計(ji) ,東莞(wǎn) 數顯氣體(ti)質量流量(liang)計小流量(liang)電磁流量(liang)計微流量(liàng)流量計微(wēi)小流量計(jì) 濕式氣體(ti)流量計超(chao)聲波氣體(tǐ)流量計

産品特(te)點：傳(chuan)感器靈敏(mǐn)度高,有極(ji)小的始動(dong)流量傳感(gan)器芯片采(cǎi)用熱質量(liàng)流量計量(liàng),無需溫度(du)壓力補償(cháng),保證了🔅傳(chuan)感器的高(gāo)精🈚度計量(liang)在單個芯(xin)片上實現(xiàn)了多傳感(gan)器集成,使(shi)傳感器的(de)☂️量程比大(da)大提高傳(chuan)感器的零(ling)點穩定🈚度(du)高全量程(chéng)高穩定性(xìng)全量程高(gāo)精确度和(hé)優良的重(zhong)複性低功(gong)耗低壓損(sǔn)響應時間(jiān)快.
fs4001小(xiao)流量氣體(tǐ)質量流量(liang)傳感器 主(zhu)要參數：

性(xìng)能參數	FS4001		單(dān)位
通徑	1.0	1.8	mm
大(dà)流量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程(cheng)比	≥100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重(zhong)複性	0.25		%讀數(shù)
零點輸出(chu)飄移	±30		mV
輸出(chu)飄移	±0.12		%/oC
響應(ying)時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuo)電源	8~18Vdc,50mA
輸出(chū)方式	線性(xing)，RS232/模拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc
大流量壓(yā)損	350	300	pa
大工作(zuo)壓力	0.5		MPa
工作(zuo)溫度	-10 ~ +55		oC
存儲(chu)溫度	-20 ~ +65		oC
工作(zuo)濕度	<95%RH（無結(jie)冰、無凝露(lu)）
機械接口(kou)	可拆式軟(ruan)管接頭
校(xiao)準方式	空(kōng)氣（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa
重量(liang)	15		g