産品時(shí)間：2025-12-01
FS4001系(xi)列實驗室氣體(tǐ)流量傳感器适(shì)用于各類清潔(jié)氣體。*的⁉️封❗裝技(ji)術使之可用于(yu)各類管徑，成本(ben)低、易安裝、不需(xu)要👄溫度🌈壓力補(bu)償，可替代容積(jī)式或壓差式的(de)傳統流量傳感(gǎn)器。
産品簡介：
FS4001系(xi)列實驗室氣體(tǐ)流量傳感器 是專門爲各(gè)類小流量氣體(tǐ)的測量和過程(chéng)控制而設⛷️計♈的(de)。這一系列傳感(gǎn)器均采用本公(gong)司自主研發的(de)微機電系統❌（ MEMS
FS4001系列(lie)實驗室氣體流(liu)量傳感器 适用于各類清(qing)潔氣體。*的封裝(zhuang)技術使之可用(yong)于各類管徑，成(chéng)本低、易安裝、不(bú)需要溫度壓力(li)補償，可替代容(rong)🔴積式或壓💔差式(shi)的傳統流量傳(chuan)感器。
産品特點：
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傳感器靈敏度(du)高
,
有極小(xiǎo)的始動流量
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傳感器芯片(piàn)采用熱質量流(liu)量計量
,
保證了(le)傳
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感器的(de)高精度計量
在單個芯片(piàn)上實現了多傳(chuán)感器集成
,
使傳感器的量(liàng)程比大大提高(gāo)
全量程高(gao)穩定性
全(quan)量程高精确度(dù)和優良的重複(fu)性
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低壓損
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響應時間快(kuai)
機械尺寸(cun)：
主要(yao)參數：
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FS4001 |
單位 |
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大流(liu)量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
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±(1.5+0.2FS) |
% |
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0.25 |
%讀數 |
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零(ling)點輸出飄移 |
±30 |
mV |
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輸(shu)出飄移 |
±0.12 |
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源 |
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線性，RS232/模(mo)拟電壓0.5~4.5Vdc |
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350 |
300 |
pa |
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0.5 |
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-10 ~ +55 |
oC |
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存(cún)儲溫度 |
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oC |
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工作濕(shī)度 |
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機械接口 |
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校準方式 |
空氣(qì)（或其他氣體），20oC，101.325kPa |
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15 |
g |
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