産品展示(shì)
PRODUCT DISPLAY
産品時間：2025-12-01
微小氣(qì)體流量計,MF4001氣體(tǐ)流量計是廣州(zhou)迪川儀器儀表(biao)🚶♀️有限公司🈲專門(men)爲各類小流量(liang)氣體的測量和(he)過程控制而設(she)計的。這♍一系列(lie)傳感器均采用(yong)本公司🎯自主研(yan)發的微機電系(xì)統（MEMS）流量👅傳感芯(xin)㊙️片來制作，适👄用(yong)于各類清潔氣(qi)體💃🏻。*的封裝技🔴術(shu)使之可用于各(ge)類管徑，成本低(di)、易安裝、不需要(yao)溫度壓力補償(cháng)，可替代容積式(shi)或壓🔴差式的傳(chuán)統流量✉️傳感器(qi)。
微小氣體流量(liàng)計,MF4001氣體流量計(jì)
FS4001系列小流(liu)量氣體質量流(liu)量傳感器是廣(guang)州迪川儀器儀(yi)表🏃♀️有限公司專(zhuan)門爲各類小流(liu)量氣體的測量(liang)和過程控制而(ér)設計的。這一系(xì)列傳感器均采(cai)用本🔆公司自主(zhu)研發的微機👅電(diàn)系統（
MEMS）流量(liàng)傳感芯片來制(zhì)作，适用于各類(lèi)清潔氣體。*的封(fēng)裝技術使之可(ke)用于各類管徑(jìng)，成本低、易安裝(zhuang)、不需要溫度壓(yā)力補償，可㊙️替代(dài)容積式或壓差(cha)式的傳統流量(liàng)傳感器。
産(chan)品特點：
微小氣(qi)體流量計,MF4001氣體(tǐ)流量計
- ,有極小的(de)始動流量
- 傳感器芯片采(cai)用熱質量流量(liang)計量
,無需(xū)溫度壓力補償(chang)
,保證了傳(chuán)
- 感器的高(gāo)精度計量
- 在單個芯片上(shang)實現了多傳感(gǎn)器集成
,使(shi)傳感器的量程(chéng)比大大提高
- 傳感器的零(líng)點穩定度高
- 全量程高穩(wen)定性
- 全量(liàng)程高精确度和(hé)優良的重複性(xìng)
- 低功耗
- 低壓損
- 響應時間快
主要參數：
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性能參數 |
FS4001 |
單位 |
|
|
1.0 |
1.8 |
mm |
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zui大(dà)流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
|
量程(cheng)比 |
2132132132131231312100:1 |
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|
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性(xìng) |
0.25 |
%讀數 |
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|
零點輸出飄移(yí) |
±30 |
mV |
|
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|
%/oC |
||
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|
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源(yuán) |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式(shì) |
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zui大流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
|
zui大工作壓力(lì) |
0.5 |
MPa |
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工作溫度(dù) |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(du) |
oC |
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工作濕度(dù) |
<95%RH（無結冰、無(wú)凝露） |
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機械(xiè)接口 |
可拆(chai)式軟管接頭 |
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校準方式 |
空氣（或其他(tā)氣體）， 20oC， 101.325kPa |
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重量 |
15 |
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86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
